标准号 | 标准名称 | 实施日期 | 标准状态 | 详细操作 |
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GB/T 25915.1-2021 | 洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级 | 2022/03/01 | 现行 | 收藏 跟踪 |
GB/T 25915.10-2021 | 洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级 | 2022/03/01 | 现行 | 收藏 跟踪 |
GB/T 25915.12-2021 | 洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求 | 2022/05/01 | 现行 | 收藏 跟踪 |