- 基本信息
- 发布机构： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 信息反馈
- 发布日期： 2009/10/30 信息反馈
- 实施日期： 2010/06/01 信息反馈
- 作废日期： 2024/11/01 信息反馈
- 全文语种： 中文 信息反馈
- 全文页数： 50 页 信息反馈
- 有无馆藏： 有
- 关联标准
- 起 草 人： 孙燕 黄笑容 向磊 翟富义 卢立延 郑琪 邓志杰 贺东江 信息反馈
- 起草单位： 中国有色金属工业标准计量质量研究所 有研半导体材料股份有限公司 杭州海纳半导体有限公司和国瑞电子材料有限责任公司 洛阳单晶硅有限责任公司 峨眉半导体材料厂 宁波立立电子股份有限公司 南京国盛电子有限公司 南京锗厂有限责任公司 万向硅峰电子股份有限公司 云南东兴集团 西安骊晶电子技术有限公司 中科院半导体所 上海合晶硅材料有限公司 信息反馈
- 归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 信息反馈
- 附录
- 修改单
- 关联公告
相关度排名
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- 标准号：GB/T 14264-2009
