GB/T 43493.3-2023 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第3部分:缺陷的光致发光检测方法 信息反馈
中国标准分类号： L90 (电子技术专用材料) 信息反馈
国际标准分类号： 31.080.99 (其他半导体分立器件) 信息反馈
- 基本信息
- 发布机构： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 信息反馈
- 发布日期： 2023/12/28 信息反馈
- 实施日期： 2024/07/01 信息反馈
- 全文语种： 中文 信息反馈
- 全文页数： 23 页 信息反馈
- 有无馆藏： 有
- 关联标准
- 提出单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203);全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) 信息反馈
- 起 草 人： 芦伟立 房玉龙 李佳 殷源 丁雄杰 张冉冉 王健 李丽霞 张建峰 李振廷 徐晨 杨青 刘立娜 杨世兴 马康夫 钮应喜 金向军 尹志鹏 刘薇 陆敏 周少丰 林志阳 信息反馈
- 起草单位： 河北半导体研究所(中国电子科技集团公司第十三研究所) 之江实验室 广东天域半导体股份有限公司 中国电子科技集团公司第四十六研究所 浙江大学 山东天岳先进科技股份有限公司 山西烁科晶体有限公司 中国科学院半导体研究所 中电化合物半导体有限公司 河北普兴电子科技股份有限公司 常州臻晶半导体有限公司 深圳市星汉激光科技股份有限公司 厦门特仪科技有限公司 信息反馈
- 归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203);全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) 信息反馈
- 附录
- 修改单
- 关联公告
相同标准对象标准
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半导体器件 功率器件用碳化硅同质外......
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相关度排名
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- 标准号：GB/T 43493.3-2023
