GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片 信息反馈
中国标准分类号: H82 (元素半导体材料) 信息反馈
国际标准分类号: 29.045 (半导体材料) 信息反馈
适用范围: 本标准规定了硅单晶抛光片(简称硅抛光片)的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于直拉硅单晶研磨片经腐蚀减薄后进行单面抛光制备的硅抛光片,产品主要用于制作集成电路等半导体器件或做为硅外延沉积的衬底。 信息反馈
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