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GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法 信息反馈

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中国标准分类号： H17 (半金属及半导体材料分析方法) 信息反馈

国际标准分类号： 77.040.01 (金属材料试验综合) 信息反馈

适用范围： 本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω·cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。本标准测量氧含量的有效范围从1X1016at·cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。 信息反馈

基本信息
发布日期： 2006/07/18 信息反馈
实施日期： 2006/11/01 信息反馈
作废日期： 2019/06/01 信息反馈
全文页数： 8 页 信息反馈
有无馆藏： 有
关联标准
相关单位
起  草  人： 梁洪   覃锐兵   王炎   信息反馈
起草单位： 峨眉半导体材料厂 信息反馈
归口单位： 中国有色金属工业协会 信息反馈
附录
修改单
关联公告
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  • 标准号：GB/T 1557-2006

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